金融界2025年1月23日消息，国家知识产权局信息显示，山东志伟环保科技有限公司申请一项名为应用于半导体材料清洗刻蚀的高纯度臭氧浓缩工艺及装置的专利，公开号CN 119330308 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请涉及臭氧压缩的技术领域，尤其是涉及一种应用于半导体材料清洗刻蚀的高纯度臭氧浓缩工艺及装置，其中包括以下步骤：气体压缩：将气体压缩形成有压初始气；吸附分离：将有压初始气通入臭氧浓缩装置内，并均衡有压初始气浓度，设置两层吸附剂共同对臭氧进行吸附，并在吸附时，调节两层吸附剂的相对位置，改变气体冲刷位置，形成固定吸附和流动吸附相结合的方式；解吸：分离臭氧，并经过压缩形成高纯度臭氧浓缩气；其中装置包括：塔体、吸附剂层、用于供气的进气管、用于排气的排气管、滑移于进气管内用于调节进气管供气的封板、用于带动封板滑移的滑移机构和用于分离解吸臭氧的排气模块。本申请具有减少对臭氧浓缩气纯度的影响的效果。

天眼查资料显示，山东志伟环保科技有限公司，成立于2001年，位于济南市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1850万人民币，实缴资本1304万人民币。通过天眼查大数据分析，山东志伟环保科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目60次，知识产权方面有商标信息4条，专利信息28条，此外企业还拥有行政许可10个。

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